1.密珠轴承轴系的特点及结构 密集的滚珠近似于多头螺旋排列,每个滚珠公转时有自己滚道, 互不重复。滚珠装配时过盈,相当于预加载荷,起到消除间隙,减小几何形状误差。这种轴系成本 低,使用方便,寿命长,精度高,但承载能力不大。
2.密珠轴承设计要点
滚珠的密集度:适当提高滚珠密集度,即增加滚珠数量,可以使主轴的“飘移”有所改善,所以,提高滚珠的密集度是有好处的。但过多的增加不仅使结构尺寸增大,而且摩擦力矩随之增大,影响主轴运动的灵活性。一般根据受力情况按公式(4-47)、式(4-50)计算,再考虑结构的可能性和过盈量确定滚珠数量。 滚珠的排列方式:排列方式必须满足每个滚珠的滚道互不重叠,并在直径方向上滚珠的配置成对称的原则。 过盈量的确定过盈量能补偿轴承零件的加工误差,提高轴系的回转精度和刚度。过盈量过小则不能消除轴承间隙,回转精度和刚度均下降;过盈量太大,则摩擦力矩增大,轴系转动的灵活性降低,主轴、轴套、滚珠的磨损加快,还容易引起轴、套和滚珠的塑性变形,破坏原有几何形状的正确性,同样会引起回转精度下降。
动压轴承获得油动压的条件是:
1)在结构上,轴承必须有斜楔。主轴只有向斜楔减小方向转动时,才会产生油动压,若主轴转动速度高,则油膜加厚。因此为保证主轴有高的回转精度,转速应均匀。不允许向斜楔增大方向转动,这时没有油动压,主轴与轴承刚性接触,而产生磨损。
2)轴系在转动之前必须加有一定粘度的润滑油,进行充分润滑。润滑油不能随便代替,必须用圆度仪主轴专用油。
闭式平面导轨型 导轨精度高,刚性大,承载能力也大,最适于作精密机械的长行程导轨。经过研磨,使导轨面的精度和导轨与工作台之间的间隙达到所需要的数值 。
闭式圆柱或矩形导轨型 结构简单,零件的精度可由机械加工保证。随着工作台的移动,导向圆轴可能产生挠度,故不适用做长导轨,可用于高精度、高稳定性的短行程工作台的导轨。
开式重量平衡型 这是工作台重量(包括负载)与空气静压相平衡保持一定间隙的一种形式,其结构简单、零件加工也比较容易。但刚度小,承载能力低,可用于负载变动小的精密仪器和测量仪器。
开式真空吸附平衡型 其结构与重量平衡型相同。由真空泵的真空压力来限制工作台的浮起量,因此,可以减少工作台浮起间隙量,甚至可以减少到1μm,故可提高刚度。常在微细加工设备中应用。如250CC型图形发生器X向导轨,就是用气垫中心真空吸附加载的,在气垫外环有气浮平衡以保持间隙。
微位移技术是一行程小、分辨力和精度都很高的技术,其精度要达到亚微米和纳米级。通常把应用微位移技术的系统称为微系统,它由微位移机构、精密检测装置和控制装置三部分组成。
柔性铰链用于绕轴作复杂运动的有限角位移,它的特点是:无机械摩擦、无间隙、运动灵敏度高。利用柔性铰链原理研制的角度微调装置,在3′的角度范围内,达到了10-7(°)的稳定分辨率。近年来,柔性铰链又在精密微位移工作台中得到了实用,并被广泛地用于陀螺仪、加速度仪、精密天平等仪器仪表中。柔性铰链有很多种结构,最普通的形式是绕一个轴弹性弯曲,这种弹性变形是可逆的。
(一)设计要求
1)微动工作台的支承或导轨副应无机械摩擦、无间隙。
2)具有高的位移分辨率及高的定位精度和重复性精度。
3)具有高的几何精度,工作台移动时直线度误差要小,即颠摆、扭摆、滚摆误差小,运动稳定性好。
4)微动工作台应具有较高的固有频率,以确保工作台具有良好的动态特性和抗干扰能力。
5)工作台最好采用直接驱动,即无传动环节,这不仅刚性好,固有频率高,而且减少了误差环节。
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