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ITO镀膜教材(4)

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ITO镀膜教材

玻璃基板規格:

1. 厚度:

一般為1.1mm、0.7mm、0.55mm、0.4mm等等。 2. 外形尺寸:

目前廠內比較常生產之尺寸為300*350、370*480。 3. 表面的傷痕、氣泡及雜物:

有些矩陣圖形,布線最小圖形為5-10um,因此在璃基皮上的缺陷也應小於5um,最近圖形越來越細,有時50um以下的傷痕和雜物都成了問題。 4. 玻璃表面的凹击:

(A) 表面粗糙度:

在1-2um的範圍內多次重覆出的凹击,其變化通常比人眼的分辨率還小,這種微小的凹击影響塗覆膜的特性、液晶取向和圖形邊緣的平整 (B) 表面波紋:

是週期在1mm以上的表面凹击,通常有5-20mm的週期,這有可能成為不均勻顯示的背景。 (C) 翹曲:

通常是在基板內出現1-2次的凹击,翹曲過大的表面波紋在顥示製造過程中的約是,在操作機台上真空吸附基板時不得產生模糊現象;在有矩陣型時,在實施微細圖形的光刻工程中不得產生漏氣現象;不得出現干涉條紋背景等不均勻顯示對於上述各項,各種液晶顯示器所對應容估計值如下表:

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